“无锡锡山区锡北镇拥有连城凯克斯等众多集成电路装备制造企业，这在国内十分罕见。”无锡半导体协会秘书长、华虹副总裁黄安君近日表示，锡山初步成型的集成电路国产化装备体系补齐了无锡集成电路产业链发展的关键一环。据悉，随着项目的逐步投产，半导体级硅锗直拉单晶炉设备等新装备不断涌现，这些产品通过大生产线的严格考核，开始批量应用，有的甚至出口到海外，实现了从无到有的突破。

　　引进一个企业，带来一批项目，打造一个产业。连城凯克斯的母公司大连连城数控主要为光伏及半导体产业提供技术领先且质量可靠的装备和解决方案，其生产的各类高端装备打破了进口设备总体垄断的局面。继该公司参股的深圳拉普拉斯、控股的上海釜川项目先后落户锡山后，总投资30亿元的连城凯克斯项目已经投产，去年产值达8.4亿元，达产后年产2000台各类半导体高端装备，为全球众多领先的半导体、太阳能硅片企业提供单晶生长设备。此外，艾华科技新一代纳米薄膜生长装备项目、威凯特微波破碎设备项目也已落地。

　　值得注意的是，锡山集成电路装备制造赢得越来越多高端人才的青睐。去年年底，中科院院士杨德仁与连城凯克斯签署聘任协议，在超大规模集成电路用硅材料、纳米硅半导体材料等领域开展产学研合作。“同济大学与公司合作建立新型半导体材料与装配联合研发中心，立足于优势材料、先进技术、核心装备的研发。”连城凯克斯总经理黎志欣介绍，研发中心将在半导体、5G蓝宝石、石墨烯、储能等领域发力，解决一批“卡脖子”科研难题。

　　面对国外的技术封锁，“反向创新”式的应对不失巧妙。“国外有大量集成电路传统设备可以进口，我们就在这些看似老旧的设备上做文章。”吉姆西半导体负责人莫科伟从2014年开始尝试“再制造”，将国外的老设备根据国内企业的需求进行改造，同时新制零部件供应，为后续发展积蓄资金和经验。今年，莫科伟投资15.3亿元的吉成芯半导体材料项目即将竣工，主营12英寸集成电路先进制程技术及装备研发制造，投产后为国内外重点企业提供12英寸硅片加工设备，届时企业将成为涵盖专业晶圆再生制造、半导体设备制造、半导体耗材制造、测试服务的综合性半导体技术平台。（马悦）